PID gesteuerter Halbleiterheizer

Mon, 29 Jun 2026 03:25:37 +0800

Auf der Produktionsebene reicht bereits eine Abweichung von einer halben Grad bei der Backtemperatur aus, damit das Profil des Fotoresists von gut auf unbrauchbar wird. Wenn man die Produktqualität schützen möchte, darf die thermische Steuerung nicht als nachgelagerte Maßnahme betrachtet werden – sie muss vielmehr wie ein echter Prozessparameter behandelt werden.

Was wirklich wichtig ist
Wir haben diesen PID-gesteuerten Halbleiterheizer so konstruiert, dass er eine geschlossene Regelungskette verwendet, die für Lithografie-Backstationen optimiert ist. So bleibt die Homogenität auf der aktiven Oberfläche des Wafers bei ±0,1 °C – und das auch von Zyklus zu Zyklus. Der Heizkörper ist für Reinraumbedingungen der Klassen 1–100 geeignet; die verwendeten Materialien und Oberflächen sorgen dafür, dass es keine Partikelbildung gibt. Der Heizer ist so konzipiert, dass er 24/7 ohne unplanmäßige Ausfälle arbeiten kann. Die Temperaturstabilität sorgt dafür, dass die Temperaturen innerhalb der Toleranzen des Fotoresists bleiben.

Kontrolliert on Gentle Home Infrared Warmth

PID gesteuerter Halbleiterheizer