Flexible Anzeige Trocknungslampe Fabrik

Wed, 03 Jun 2026 01:52:13 +0800

Auf der Flex-Display-Linie ist der Schritt des Post-Photoresist-Trocknens nicht nur eine Pause. Es ist ein Kontrollpunkt, schlicht und einfach. Erhöht man die Temperatur zu schnell, bildet sich eine Haut auf dem Lösungsmittel und es entstehen Defekte. Hält man die Temperatur zu lange, beeinflusst das thermische Budget das darunterliegende TFT, was zu Linienbreitenabweichungen und Ertragsverlust führt. Die Lampe muss den Film mit Wärme genau dann und dort treffen, wo sie benötigt wird, ohne Abweichungen.

Was unter der Haube zählt
Wir haben die Trocknungslampe auf Basis von Nahinfrarot-(NIR)-Heizung aufgebaut, mit submillimetergenauer Steuerung des thermischen Feldes. Das Emitterfeld ist vermessen und kalibriert, sodass die Temperaturgleichmäßigkeit über die aktive Zone innerhalb von ±0,1°C bleibt. Das ist keine Werbezahl – es ist der Unterschied zwischen gleichmäßigem Lösungsmittelverdampfen und rand-zu-rand Schwankungen, die sich als nicht-uniforme Restfilmdicke zeigen. Die Wiederholgenauigkeit ist durch die geschlossene Regelung integriert, sodass das gleiche Backprofil immer wiederkommt, Charge für Charge, Schicht für Schicht.

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