Bei der Verarbeitung von Fotolacken ist es entscheidend, dass es keine Abweichungen in der Temperatur gibt. Eine Abweichung von 2 °C während des Weich- oder Hartbrennvorgangs führt dazu, dass sich die CD-Abweichungen auf der Waferfläche ausbreiten. Dadurch sinkt die Ertragsrate, noch bevor der Inspektor etwas bemerkt. Wir haben unseren Thermoelement für Halbleiterheizungen so konstruiert, dass solche Verluste bereits an ihrer Ursache gestoppt werden.
Was wirklich wichtig ist
Dieses Thermoelement ist speziell für die Temperaturregelung entwickelt worden – schließlich hängt das Gelingen des Prozesses von winzigen Temperaturunterschieden ab. Es sorgt dafür, dass die Temperatur auf der Waferfläche innerhalb eines Bereichs von ±0,1 °C bleibt. Dadurch bleiben der Fluss des Fotolacks sowie die Entfernung des Lösungsmittels im gewünschten Rahmen. Der Sensor ist außerdem für Reinräume der Klasse 1–100 geeignet und erzeugt keinerlei Partikel – dadurch wird eine Kontamination der Lithografieprozesse vermieden. Die Wiederholgenauigkeit des Sensors bleibt rund um die Uhr konstant, was wiederum zu keinen unplanmäßigen Stillständen bei der Serienfertigung führt. Die Geometrie des Sensors passt perfekt in die Standardheizblöcke sowie in die gängigen Steckverbinder – dadurch ist die Installation einfach und schnell.
Warum er in der Produktion funktioniert
Es ist wichtig, dass die Temperatur stabil bleibt – unabhängig von den Bedingungen im Raum. Beim Umgang mit Fotolacken sorgt dieses Thermoelement dafür, dass das Brennprofil genau eingehalten wird. Dadurch bleiben die kritischen Abmessungen der Wafer stabil und das Verhalten der Kanten wird vorhersehbar. Materialien, die für Reinräume geeignet sind, sowie ein partikelfreies Design tragen dazu bei, Fehler zu reduzieren – das bedeutet weniger Ausschuss und weniger Nacharbeiten. Zudem wird der Energieverbrauch verringert, da der Steuerkreis nicht ständig nach Ausgleichsmöglichkeiten suchen muss. Dadurch entsteht eine zuverlässige Leistung – Schicht für Schicht, Wafer für Wafer.
Praktische Details, die man nicht ignorieren darf
Die Installation muss so erfolgen, dass die Masse des Heizers sowie die Position der Thermoelementverbindungen berücksichtigt werden – andernfalls entstehen Verzögerungen und lokale Fehler. Für eine optimale Leistung sollte der Sensor mit der richtigen Verkabelung sowie Abschirmung verwendet werden. Zudem muss er auf die tatsächlichen Einstellungen der Maschine kalibriert werden – nicht auf Messwerte vom Prüfstand. In Umgebungen mit hoher Luftfeuchtigkeit verringert sich die Lebensdauer des Sensors – es sei denn, die verwendeten Komponenten sind dafür geeignet.