Im Fertigungsbereich ist man mit den Anforderungen vertraut: Eine Abweichung von 0,2 °C auf der Wafer-Oberfläche reicht aus, um die Kontrolle über die Linienbreite zu stören und das Profil des Fotoleiters zu verfälschen. Wenn die Leybold-Vakuumheizer ihre Leistung nicht mehr erbringen, geht es nicht nur um verlorene Erträge – sondern auch um Stunden Arbeitszeit, die in einem Prozess verschwendet werden, der plötzlich unzuverlässig wird. Wir haben diese Ersatzteile für Leybold-Vakuumheizer entwickelt, damit die thermischen Eigenschaften wieder denen entsprechen, für die das Gerät ursprünglich konzipiert wurde. Dadurch bleibt die Reproduzierbarkeit gewährleistet – auch bei 24/7-Produktion.
Was technisch wichtig ist:
Es geht darum, eine gleichmäßige Temperatur auf der Wafer-Oberfläche zu gewährleisten – mit einer Abweichung von ±0,1 °C innerhalb der beheizten Zone. Dadurch bleiben die Temperaturen während des Soft-Baking- und Hard-Baking-Prozesses konstant. Das wiederum sorgt dafür, dass der CD-Abweichungsgrad stabil bleibt und Fehler vermieden werden, die auftreten, wenn sich die thermischen Bedingungen ändern. Die verwendeten Materialien und die Konstruktion sind für Reinräume geeignet – sie sind für Klassen 1–100 geeignet und geben während des Betriebs keine Partikel ab. Jedes Ersatzteil passt perfekt zur Leybold-Architektur – bezüglich der Heizgeometrie, der Anschlüsse sowie der thermischen Kopplung. Dadurch hat das System weiterhin dieselbe thermische Masse und Reaktionsfähigkeit wie das Originalgerät.
Warum das in der Lithografie und im Fotoleiterverarbeitungsprozess wichtig ist:
Die Temperaturreproduzierbarkeit ist entscheidend – sie bestimmt, ob die Prozesse vorhersehbar ablaufen oder ob es zu unerwarteten Störungen kommt. Mit diesen Ersatzteilen bleiben die Temperaturen im gewünschten Bereich. Die Rauigkeit der Linienränder lässt sich besser kontrollieren, und es entstehen weniger Ausschusswaren durchUnter- oder Überbehandlung. Dadurch sinkt die Anzahl der Nacharbeiten. Die Durchlaufgeschwindigkeit bleibt konstant – und man verschwendet keine Energie mehr auf unnötige Heizvorgänge.
Ein paar praktische Hinweise:
Um das thermische Profil beizubehalten, muss die Befestigung richtig erfolgen, die Kontaktflächen müssen sauber bleiben, und die Position der Thermoelemente muss überprüft werden. Nach dem Austausch sollte man einen Test durchführen – normalerweise mit einer Charge – um das thermische Profil wiederherzustellen und die Funktionalität der Teilchen zu überprüfen. Außerdem sollte man nicht außerhalb des vorgegebenen Vakuumbereichs arbeiten oder mit Kammerdichten, deren Lebensdauer abgelaufen ist. Beides beeinträchtigt die gewünschte Gleichmäßigkeit. Kombiniert man die Ersatzteile mit regelmäßiger Wartung der Kammer, bleibt man im gewünschten Bereich.