http://home-ir-warmth.com/cs/tags/termopar/ Recent content in Termopar on Gentle Home Infrared Warmth Hugo cs Tue, 30 Jun 2026 02:08:56 +0800 http://home-ir-warmth.com/cs/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ Tue, 30 Jun 2026 02:08:56 +0800 http://home-ir-warmth.com/cs/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ <p><img src="http://home-ir-warmth.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Termopar pro polovodičový ohřívač"></p> <p>Při zpracování fotorezistu neodpouštějí žádné odchylky v teplotě. Odchylka o 2 °C během měkkého nebo tvrdého zahřívání způsobuje rozptyl rozměrů po celé ploše waferu. Výnos klesá ještě předtím, než to stačí zjistit inspektor. Náš termoelement je navržen tak, aby zabránil těmto ztrátám hned od začátku.</p> <p><strong>Co je důležité</strong><br> Tento termoelement je určen k řízení teploty v situacích, kdy jsou požadavky na teplotu vyjádřeny v desetinách stupně. Zajišťuje rovnoměrnost teploty na úrovni waferu v rozmezí ±0,1 °C v celé horké oblasti, takže průtok fotorezistu a odstraňování rozpouštědel zůstávají v požadovaných mezích. Senzor je kompatibilní s čistými místnostmi třídy 1–100 a nevyzařuje žádné částice, čímž se zabrání kontaminaci během procesu litografie. Opakovatelnost výstupů zůstává konstantní i po celou dobu provozu, což umožňuje minimalizovat neplánované přerušení provozu u zařízení s vysokou kapacitou. Geometrie sondy odpovídá standardním blokům pro <a href="https://henruite.com">topen</a>í a běžným rozhraním konektorů, takže instalace je jednoduchá a výměna rychlá.</p>