http://home-ir-warmth.com/cs/tags/popelov%C3%A1n%C3%AD/ Recent content in Popelování on Gentle Home Infrared Warmth Hugo cs Wed, 10 Jun 2026 02:14:56 +0800 http://home-ir-warmth.com/cs/posts/ashing-process-heating-infrared/ Wed, 10 Jun 2026 02:14:56 +0800 http://home-ir-warmth.com/cs/posts/ashing-process-heating-infrared/ <p><img src="http://home-ir-warmth.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Proces popelování zahřívání infračerveným zářením"></p> <p>Na lince 300mm není ashing jen „spálení.“ Je to řízení přísného tepelného rozpočtu. Zbytky fotorezistu po stripu mohou proniknout do další litografické vrstvy a pokud není zahřívání rovnoměrné, hrozí termální runaway, které sníží vaše výtěžky. Naše infračervené ashing moduly jsme navrhli přesně pro tuto skutečnost.</p> <p><strong>Co je technicky důležité</strong><br> Infračervené záření poskytuje rychlou, bezkontaktní energii, která se škáluje podle absorpce, nikoli podle teploty hmoty. Naše krátkovlnné infračervené emitory v kombinaci s křemennou tepelnou konstrukcí udržují uniformitu na úrovni waferu v rámci ±0,1°C v celém procesu. Systém drží tuto stabilitu na nastavených teplotách, které skutečně používáte pro stripping fotorezistu, přičemž opakovatelnost zůstává natolik přesná, aby byla zachována kontrola kritických rozměrů.</p>