Polovodič on Gentle Home Infrared Warmth

Zlatě pokrytá infračervená lampa pro polovodiče

Tue, 28 Jul 2026 03:19:55 +0800

Přesně tam, kde potřebujete teplo: infračervené lampy s zlatým povlakem

Pokud provozujete inteligentní výrobní zařízení, víte, jak těžké je dosáhnout správného procesu zpracování destiček a použití technologie CVD. Všechno se svádí na teplo. Problém ale spočívá v tom, že teplo má tendenci se rozptýlit.

Právě proto existují tyto infračervené lampy s zlatým povlakem. Místo toho, aby energie unikala do stěn komory, použijeme tenkou vrstvu zlata, která udržuje energii soustředěnou na jednom místě. V podstatě jde o „zrcadlo“ pro teplo.

Ohřívač na vozíku pro čisté místnosti s polovodiči

Fri, 17 Jul 2026 02:05:45 +0800

Správné ohřevání desek

Pokud jste někdy strávili čas v čisté místnosti určené k práci s polovodiči, víte, jaké to je. Potřebujete, aby ohřívací zařízení fungovala co nejrovnoměrněji na celé ploše desky, ale zároveň nesmí dojít k žádné kontaminaci. Je to opravdu složité. Většina lidí začíná s hliníkovými reflektory, ale problém je v tom, že ty pohlcují příliš mnoho infračerveného záření. V podstatě platíte za energii, která nikdy nedosáhne desky.

A tady přicházejí na řadu zlaté povlaky.

Termopar pro polovodičový ohřívač

Tue, 30 Jun 2026 02:08:56 +0800

Při zpracování fotorezistu neodpouštějí žádné odchylky v teplotě. Odchylka o 2 °C během měkkého nebo tvrdého zahřívání způsobuje rozptyl rozměrů po celé ploše waferu. Výnos klesá ještě předtím, než to stačí zjistit inspektor. Náš termoelement je navržen tak, aby zabránil těmto ztrátám hned od začátku.

Co je důležité
Tento termoelement je určen k řízení teploty v situacích, kdy jsou požadavky na teplotu vyjádřeny v desetinách stupně. Zajišťuje rovnoměrnost teploty na úrovni waferu v rozmezí ±0,1 °C v celé horké oblasti, takže průtok fotorezistu a odstraňování rozpouštědel zůstávají v požadovaných mezích. Senzor je kompatibilní s čistými místnostmi třídy 1–100 a nevyzařuje žádné částice, čímž se zabrání kontaminaci během procesu litografie. Opakovatelnost výstupů zůstává konstantní i po celou dobu provozu, což umožňuje minimalizovat neplánované přerušení provozu u zařízení s vysokou kapacitou. Geometrie sondy odpovídá standardním blokům pro topení a běžným rozhraním konektorů, takže instalace je jednoduchá a výměna rychlá.

Semikonductový topení ovládaný PID

Mon, 29 Jun 2026 03:25:38 +0800

V prostředí výroby stačí půlstupňová odchylka teploty během procesu zahřívání k tomu, aby profil fotorezistu přešel z „dobrého“ stavu do stavu nevhodného k použití. Pokud chcete zajistit kvalitu výrobku, nemůže být termální kontrola něčím sekundárním – musí být považována za opravdový procesní parametr.

Co je důležité uvnitř zařízení
Toto topidlo s řízením typu PID je navrženo tak, aby fungovalo v uzavřeném obvodu, přičemž jeho parametry jsou optimalizovány pro použití v zařízeních na zahřívání fotorezistů. Na celé ploše waferu je dosažena jednotnost teploty v rozsahu ±0,1 °C na aktivní povrchu, což zajišťuje opakovatelnost výsledků v každém cyklu. Tělo topidla je vhodné pro použití v čistých prostorách třídy 1–100 – materiály a povrchy jsou vybrány tak, aby se minimalizovala tvorba částic. Topidlo je navrženo tak, aby mohlo fungovat 24/7 bez jakýchkoliv plánovaných přestávek. Stabilita teploty zase zajišťuje, že teplota zůstane v mezích tolerancí fotorezistu.

Polovodičová infračervená topná lampa

Tue, 23 Jun 2026 13:39:51 +0800

V prostoru určeném k litografii určuje profil vypalování – měkké a tvrdé vypalování – parametry potřebné k kontrole kritických rozměrů a tvaru fotorezistu. I pohyb teploty o 5 °C v horké oblasti může negativně ovlivnit kvalitu vrstvy vzniklé během procesu leptání. Vytvořili jsme infračervenou topnou lampu určenou k použití v polovodičovém průmyslu, aby se tato variabilita odstranila.

Co je z technického hlediska důležité Jedná se o krátkovlnné infračervené záření, takže reakce je rychlá – za méně než sekundu. Energie je přenášena přímo na wafer. Na úrovni celého waferu zůstává rovnost teploty v rozmezí ±0,1 °C, což zajišťuje konzistentnost výsledků při každém vypalování. Lampa funguje bez jakýchkoliv problémů, bez částic, a vhodná je do čistých prostor třídy 1–100. Co se týká provozní doby, výkon lampy zůstává stabilní po celou dobu provozu; jednotky pracují již více než 5 000 hodin s odchylkou výkonu pod 5 %.