Infračervená křemenná lampa pro wafer
Na výrobní lince není pečení fotoresistu „příjemnou funkcí“. Je to tvrdé omezení. Posun o 2°C v horké zóně rychle změní kritický rozměrový bias a...
Topný ohřívač pro sušení mikroskopických LED waferů
Na lince Micro LED není sušení „pauza“, kterou si můžete dovolit—je to páka na výtěžnost, s níž nelze zacházet neodborně. Teplotní výkyv během...