http://home-ir-warmth.com/cs/tags/k%C5%99emen/ Recent content in Křemen on Gentle Home Infrared Warmth Hugo cs Tue, 09 Jun 2026 01:27:35 +0800 http://home-ir-warmth.com/cs/posts/infrared-quartz-lamp-for-wafer/ Tue, 09 Jun 2026 01:27:35 +0800 http://home-ir-warmth.com/cs/posts/infrared-quartz-lamp-for-wafer/ <p><img src="http://home-ir-warmth.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Infračervená křemenná lampa pro wafer"></p> <p>Na výrobní lince není pečení fotoresistu „příjemnou funkcí“. Je to tvrdé omezení. Posun o 2°C v horké zóně rychle změní kritický rozměrový bias a linka nepřipustí výkyvy, které dříve mohly být tolerovány. Naši infračervenou křemennou lampu pro zpracování waferů jsme navrhli s ohledem na tuto skutečnost: teplota, která zůstává stabilní směnu za směnou, den co den.</p> <p><strong>Co je technicky důležité</strong><br> Lampa používá krátkovlnné infračervené záření z křemene k přímému přenosu tepla do waferů a nosičů – rychlé a přímé spojení. Je navržena pro opakovatelnost: úzké tepelné rozložení napříč osvícenou zónou a stabilní emisivita po celou dobu životnosti lampy. To je zásadní, pokud je tepelný rozpočet v litografických pečicích krocích úzký, zejména u soft bake a hard bake, a nelze si dovolit zvýšené množství částic. Systém je <a href="https://o-yate.net">vhodn</a>ý pro čisté provozy třídy 1–100 a zapadá do standardních footprintů polovodičových zařízení.</p>