আপনার হিটিং এলিমেন্টগুলোকে ব্যবহার করে ওয়েফারগুলো নষ্ট হওয়া থেকে রক্ষা করুন।
যদি আপনি ক্লাস 100 ক্লিনরুম ব্যবহার করেন, তাহলে আপনি ইতিমধ্যেই জানেন যে এয়ার ফিল্টারগুলো শুধুমাত্র অর্ধেক কাজই করতে পারে। আসল সমস্যা হলো আপনার হিটিং এলিমেন্টগুলো। এগুলো ঠিক সেই সময়েই গ্যাস নির্গত করতে পারে, যখন আপনি এটা মোটেও চান না।
এই কারণেই আমরা আমাদের IR ল্যাম্পগুলোর জন্য উচ্চ-পরিশুদ্ধতার সিন্থেটিক কোয়ার্টজ ব্যবহার করি। এটা ওয়েফারগুলোকে নষ্ট হওয়া থেকে রক্ষা করে।
উপকরণ সম্পর্কে:
সাধারণ কোয়ার্টজে সাধারণত অশুদ্ধি থাকে। যখন তাপমাত্রা বাড়ে, তখন সেই অশুদ্ধিগুলো বাষ্পীভূত হয়ে যায়। এটা ভালো নয়।
আমরা উচ্চ-পরিশুদ্ধতার সিলিকা ব্যবহার করি; যাতে তাপমাত্রা পরিবর্তিত হওয়ার সময় ল্যাম্প থেকে কোনো কণা নির্গত না হয়। আমরা নিশ্চিত করি যে কোয়ার্টজটি দ্রুত তাপ গ্রহণ/নির্গমন প্রক্রিয়া সামলাতে পারে। এর ফলে কোনো ফাটল বা কাঁচের টুকরো তৈরি হয় না; আর কোনো ক্ষুদ্র ধূলিকণাও প্রক্রিয়া চেম্বারে প্রবেশ করতে পারে না।
সঠিক তাপ প্রয়োগ:
আমরা শর্টওয়েভ IR ব্যবহার করি; কারণ এটা দ্রুত ওয়েফারের পৃষ্ঠে আঘাত করে।
যত দ্রুত ওয়েফার গরম হয়, ততই কম সময় ওয়েফারটি চরম তাপমাত্রায় থাকে। এটা খুবই গুরুত্বপূর্ণ; কারণ এর ফলে ওয়েফারে অদ্ভুত রাসায়নিক বিক্রিয়া ঘটার ঝুঁকি কমে যায়।
এখানে নির্ভুলতা খুবই গুরুত্বপূর্ণ। যদি আপনি 300 মিমি টুল ব্যবহার করেন, তাহলে ল্যাম্পের দৈর্ঘ্য ও ওয়াটেজটি আপনার পাওয়ার সাপ্লাইয়ের সাথে নিখুঁতভাবে মিলে যাওয়া উচিত। যদি এগুলো ঠিক না থাকে, তাহলে ওয়েফারে গরম জায়গা তৈরি হয়। আর যদি আপনি অতিরিক্ত ওয়াটেজ ব্যবহার করেন, কিন্তু সেই তাপ দূর করার জন্য যথাযথ কুলিং ফ্যান না থাকে, তাহলে ল্যাম্পটি খুব দ্রুত নষ্ট হয়ে যাবে।
ল্যাম্প প্রতিস্থাপন:
আমরা স্ট্যান্ডার্ড কানেক্টর ব্যবহার করি; তাই ল্যাম্পগুলো সহজেই প্রতিস্থাপন করা যায়। আপনাকে পুরো র্যাকটি পুনর্সংযোগ করার জন্য অতিরিক্ত সময় ব্যয় করতে হবে না।
কিন্তু একটি সতর্কবার্তা: উচ্চ-পরিশুদ্ধতার কোয়ার্টজ ত্বকের তেলের কারণে ক্ষতিগ্রস্ত হতে পারে।
একটি আঙুলের ছাপই কোয়ার্টজকে ক্ষতিগ্রস্ত করতে পারে।
অনুগ্রহ করে, ল্যাম্প ইনস্টল করার সময় লিন্ট-ফ্রি গ্লাভস ব্যবহার করুন। যদি কোয়ার্টজে তেল লাগে, তাহলে ল্যাম্পটি খুব দ্রুত নষ্ট হয়ে যাবে। এটা একটি ছোট্ট ব্যাপার; কিন্তু এটা অনেক সমস্যা এড়াতে সাহায্য করে।