灰化过程加热红外线

在300mm生产线上，灰化不仅仅是“燃烧清除”。它是在严格控制热预算。光刻胶剥离后残留的光刻胶残迹可能会在下一层光刻过程中形成“鬼影”，如果加热不均匀，还存在热失控的风险，这将严重影响良率。我们设计的红外灰化模块正是以这种实际需求为基础。 技术要点 红外辐射提供快速的非接触能量传递，其能量输入随材...