半导体洁净室推车式加热器

正确控制晶圆加热效果 如果您曾在半导体洁净室工作过，就会明白其中的难度。需要确保晶圆表面的加热效果均匀一致，同时又要避免任何污染因素的干扰。这真是一门艺术。大多数人最初会使用铝制反射器，但问题在于它们会吸收过多的红外辐射。实际上，您支付的费用中有一部分并没有真正用于加热晶圆上。 这时，金涂层就派上...