真空室红外加热器

停止为空气加热：更智能的半导体热处理方式 说实话，传统的电阻炉非常耗能。为了给整个腔室加热，必须消耗大量电能，而其中大部分能量其实并没有被用于加热晶圆。这不仅浪费了电力，还会增加碳排放。 我们找到了更好的方法：不必为整个腔室加热，而是使用真空腔体内的红外线加热器，直接将热量传递到需要加热的位置。...