آئی آر حرارتی نظام بمقابلہ فورسڈ ایر حرارتی نظام: ویفروں کو گرم کرنے کے لئے کون سا طریقہ بہتر ہے؟
گرم ہوا کے استعمال کے بجائے آئی آر حرارتی نظام کا استعمال، صرف ایک پرزے کو تبدیل کرنے جیسا نہیں ہے؛ بلکہ یہ تو اس طریقے میں مکمل تبدیلی ہے جس سے ویفر کی سطح کو حرارت دی جاتی ہے۔
فورسڈ ایر حرارتی نظام کے بارے میں سوچیں… اس میں ہوا کے ذریعے ہی حرارت پہنچائی جاتی ہے، لیکن یہ عمل بہت سست ہے۔ آئی آر حرارتی نظام مختلف ہے؛ اس میں تابکاری کی مدد سے براہ راست حرارت ویفر کی سطح تک پہنچتی ہے۔
وقت کی اہمیت
ہوا، حرارت کی منتقلی کے لحاظ سے بہت خراب مادہ ہے۔ جب کنوکشن اوون کا استعمال کیا جاتا ہے، تو پورے چیمبر کو مناسب درجہ حرارت تک پہنچنے میں وقت لگتا ہے… یہ عمل بہت سست ہے۔ آئی آر لیمپس اس مسئلے سے بچتے ہیں؛ انرجی روشنی کی رفتار سے حرکت کرتی ہے، اور فوراً ہی ویفر کی سطح تک پہنچ جاتی ہے۔ سیمی کنڈکٹرز کی دنیا میں، یہ عمل منٹوں کے بجائے سیکنڈوں میں ہی مکمل ہو جاتا ہے۔
یہ بہت تیز ہے… واقعی بہت تیز۔
اور یہ بہت اہم ہے، کیوں کہ اس سے ویفر “خطرناک زون” سے باہر رہتے ہیں… یعنی اس وقتی عرصے سے جب ویفر کی سطح پر غیر مطلوب کیمیائی ردِعمل یا آکسیڈیشن ہو سکتی ہے۔
مناسب درجہ حرارت حاصل کرنا
ہم درستگی کے لئے پریسیژن آئی آر سینسرز کا استعمال کرتے ہیں۔
ہوا کی گردش سے مشکلات پیدا ہو سکتی ہیں… 300 ملی میٹر کے ویفر پر “ٹھنڈے علاقے” پیدا ہو سکتے ہیں، جن سے نمٹنا بہت مشکل ہے۔ لیکن آئی آر ایرے کی مدد سے حرارت کو مناسب جگہوں پر پہنچایا جا سکتا ہے۔ اگر ویفر کے کناروں سے حرارت بہت تیزی سے خارج ہو رہی ہے، تو ان علاقوں میں مزید توانائی فراہم کی جا سکتی ہے، تاکہ توازن قائم رہے۔ اس طرح ویفر ٹیڑھا نہیں ہوتا۔ جب PID لوپ مناسب طریقے سے سیٹ کیا جاتا ہے، تو پوری سطح پر درجہ حرارت کو ±1°C کے اندر رکھا جا سکتا ہے… یہ بہت اعلیٰ سطح کا کنٹرول ہے۔
مشکلات
لیکن یہ سب اتنا آسان نہیں ہے… آئی آر حرارتی نظام سے کولنگ سسٹم پر بہت زیادہ دباؤ پڑتا ہے۔ ان اعلیٰ کثافت والے لیمپوں سے بہت زیادہ حرارت پیدا ہوتی ہے… اگر چیسس اس حرارت کو برداشت نہ کر سکے، تو سینسر یا ماؤنٹنگ بریکٹ خراب ہو سکتے ہیں۔
آپ کو مناسب ہیٹ سنک یا ایکٹیو کولنگ سسٹم کی ضرورت ہے، تاکہ ان حصوں کو تحفظ فراہم کیا جا سکے جنہیں گرم نہیں کیا جا رہا ہے۔
بنیادی طور پر، آپ ہوا کے استعمال کے بجائے بہتر الیکٹریکل کنٹرول اور تیز رفتار کام کرنے کا اختیار منتخب کر رہے ہیں… ہم میں سے زیادہ تر لوگوں کے لئے یہ ایک اچھا سودا ہے۔