На виробничій лінії все відбувається так само, як і завжди: якщо температура під час процесу затвердіння клею виходить за межі допустимих значень, то вся партія продукції опиняється у непридатності. Температурні коливання не лише марнують матеріал, але й зменшують кількість готової продукції, а також обмежують можливості для подальших етапів виробництва. Необхідна система затвердіння, яка б забезпечувала стабільну температуру, а не ще одну змінну, яку потрібно контролювати.
Що є важливим у цій системі
Ми створили систему затвердіння клею, яка забезпечує температурну однорідність на рівні ±0,1°C по всій поверхні підложки. Система розташована в чистій кімнаті класу 1–100. Модуль нагріву працює на короткохвильовому інфрачервоному світлі з використанням системи контролю температури, тож значення температури вимірюється безпосередньо на поверхні, а не за допомогою датчиків у камері. Кількість частинок у повітрі залишається на рівні менше 1 частинки/фут³ при розмірі частинок 0,1 мкм. Також спроектовано шляхи подачі повітря так, щоб уникнути турбуленцій, які можуть порушити процес зчеплення компонентів. Рівень повторюваності процесу становить ≤0,2% протягом 10 000 циклів – адже у виробництві напівпровідників такі коливання є неприйнятними.
Чому ця система підходить для процесу зчеплення компонентів
Клеї, які використовуються для зчеплення компонентів, затвердіють лише в певному температурному діапазоні. Якщо температура занадто низька, зв’язок між компонентами залишається слабким. Якщо температура занадто висока, вихлопні гази можуть пошкодити поверхню компонентів. Наша система забезпечує стабільний температурний профіль, що дозволяє отримати якісний результат кожного разу.
Це означає меншу кількість переробок, стабільну міцність з’єднання та процес затвердіння, який не стає причиною затримок у виробництві. Споживання енергії зменшується на 20–30% порівняно з конвективними печами, а час виконання процесу скорочується через низьку теплову щільність та швидку реакцію системи керування.
Що потрібно передбачити заздалегідь
Ця система призначена для інтеграції в автоматизовані лінії виробництва. Однак їй потрібне стабільне живлення з низьким рівнем шуму, а також окремий канал відведення газів, щоб зберегти необхідний рівень чистоти повітря. Ця система не може бути просто встановлена на місце старих печей, якщо інтерфейси для передачі даних та відведення газів не будуть сумісні. Необхідно спланувати впровадження системи відповідно до існуючих процедур керування, а також перевірити її ефективність на конкретному клеї – адже характеристики екзотермічної реакції залежать від хімічного складу клею.