Esnek ekran hattında, post-fotoresist kurutma adımı yalnızca bir duraklama değildir. Bu, basit ve net bir kontrol noktasıdır. Isıyı çok hızlı artırırsanız, çözücü patlaması yüzeyde kabuklaşır ve kusurlar bırakır. Çok uzun süre bekletirseniz, termal bütçe alttaki TFT’ye sızar, çizgi genişliği kayar ve verim düşer. Lamba, ısının tam olarak gerektiği anda ve yerde filme temas etmelidir, sapma olmadan.
Motor kapağı altındaki önemli noktalar
Kurutma lambasını, termal alanın milimetrenin altında kontrolünü sağlayan yakın kızılötesi (NIR) ısıtma etrafında tasarladık. Yayıcı dizisi haritalandı ve kalibre edildi; aktif bölge boyunca sıcaklık homojenliği ±0.1°C içinde tutuluyor. Bu, pazarlama rakamı değil—sabit çözücü buharlaşması ile film kalınlığında kenardan kenara görülen kalıntı varyasyon arasındaki farktır. Tekrarlanabilirlik kapalı çevrim kontrolüne entegredir; böylece aynı pişirme profili parti parti, vardiya vardiya tekrar eder.
Bu süreçte neden tercih edilir
Esnek substratlar hızlı çalışır ve zaman penceresi dardır. Class 1–100 temiz oda ortamında, lamba sıfır partikül üretimi ile çalışır; böylece kusur sayıları azalır, hurda hattın dışına çıkar. Yumuşak pişirme ve sert pişirme hedef sıcaklığa daha hızlı ulaşır, profil bozulmadan çevrim süresini kısaltır. Ayrıca NIR doğrudan filmi ısıttığı için havayı ısıtarak enerji kaybı olmaz. Sonuç olarak, kritik boyut kontrolü stabil kalır, yeniden işlem sayısı azalır ve çıktı öngörülebilir olur.
Planlamanız gerekenler
Lamba standart fab arayüzlerine uyum sağlar ancak temiz güç kaynağı ve egzozda disiplinli termal yönetim gerektirir. Profilin kilitlenmesi ve lamba yüksekliğinin substrat yoluna ayarlanması için kısa bir devreye alma süreci planlayın. Ayar yapıldıktan sonra sistem sağlamdır—ancak egzoz akışı saparsa veya yayıcı camı kirlenirse kayma olur. Optikleri temiz tutun, süreç kontrol altında kalır.