FO-WLP hatlarında, RDL’nin stabilitesi fırınlamadan itibaren başlar. Foto dirençlerin yumuşak şekilde fırınlanması veya kapsülleştirme işlemleri sırasında meydana gelen 1°C’lik değişiklikler, çizgi genişliğini etkiler, boşlukların oluşmasına neden olur ve zaten litografi işleminden geçmiş olan wafları bozar. Bu sorunları önlemek için, her vardiya boyunca termal davranışların tutarlı kalması amacıyla özel bir ısıtıcı tasarladık.
Bunun teknik detayları şöyledir: Bu cihaz, kuvars-halojen emittör dizisi sayesinde kısa dalga boyundaki kızılötesi ışını kullanır; bu sayede hızla belirlenen sıcaklığa ulaşır ve aşırı ısınma olmaz. 300 mm’lık alanda, tipik yumuşak fırınlama sıcaklıklarında (+/-0,1°C) ve sert fırınlama sıcaklıklarında (+/-0,2°C) waflar arasında düzgün bir sıcaklık dağılımı sağlanır. Temiz oda standartlarına uyumluluk ise 316L paslanmaz çelik yapı, PVDF yalıtkanlar ve yerinde yapılan partikül analizleri sayesinde sağlanır. Kontrol cihazı, sıcaklığı gerçek zamanlı olarak kontrol eder ve ürünler arası ve günler arası tekrarlanabilirliği ±0,2°C içinde tutar.
FO-WLP sistemleri sınırlı bir termal bütçeyle çalışır. Bu ısıtıcı, 7×24 saatlik çalışma koşullarında bile belirlenen parametreler dahilinde çalışarak bu bütçeyi korur. Sürekli üretimde planlanmayan duruşlar olmaz ve MTBF değeri 10.000 saatin üzerindedir. Sonuç olarak daha az yeniden işleme gerekiyor, kritik boyutlar daha stabil bir şekilde kontrol ediliyor ve işlem süreleri öngörülebilir hale geliyor. Düşük termal kütle ve verimli emittör düzenlemesi sayesinde enerji tüketimi düşük kalır; böylece sıcaklık hassasiyetinden ödün verilmeden işletme maliyetleri azalır.
Kurulum işlemi, temiz oda basınç farklarını korumak için uygun arayüzlerin kullanılması ve havalandırma sisteminin doğru şekilde düzenlenmesiyle gerçekleştirilir.
Isıtıcının hedef noktaya ±1 mm içinde yer alması ve soğutma yolunda herhangi bir enkazın bulunmaması durumunda en iyi performans elde edilir. Entegrasyon işlemi için bir gün süre yeterlidir; ardından formülasyonun doğrulanması için kısa bir test yapılır.