Fırın beklemeyi bırakın: Neden IR kurutma yöntemi sıcak hava yönteminden daha iyidir?
Birçok yarı iletken üretim tesisi hâlâ kurutma işlemleri için sıcak hava kullanmaktadır. Bu eski usul bir yöntemdir: Hava hareket ettirilir, ısıtılır ve umarız bu ısı malzemenin derinliklerine kadar ulaşır.
Sorun ne mi? Çok yavaş. Gerçekten çok yavaş. Yüksek basınçlı üretim tesislerinde bu durum sadece bir rahatsızlık değil, aynı zamanda üretimi engelleyen ciddi bir sorundur.
Biz bu eski sistemleri, onaylanmış inframerah (IR) kurutma lambalarıyla değiştirdik. İşte bu değişikliğin her şeyi nasıl değiştirdiği…
Aracıyı ortadan kaldırma
Sıcak havanın nasıl çalıştığını düşünün. Havanın wafer’e temas etmesi, ısının aktarılması ve ardından bu ısının malzemenin içine nüfuz etmesi gerekiyor. Hava aslında bir aracıdır ve aracılar her zaman işleri yavaşlatır.
IR lambaları ise bu süreci tamamen atlar. Elektromanyetik dalgalar göndererek doğrudan malzemenin içine nüfuz ederler. Bu işlem anında gerçekleşir; odayı ısıtmaya veya fırının belirli bir sıcaklığa ulaşmasını beklemeye gerek yoktur. Bu durum, mühendisler için harika bir çözümdür; çünkü her bir ünite üzerinde harcanan zaman büyük ölçüde azalır. Malzemenin kalınlığına ve istenen sıcaklığa bağlı olarak döngü süreleri %50 ila %80 oranında azalabilir.
“Eksiklikler” ve bunların nasıl çözüldüğü
IR teknolojisi sihirli değildir; ancak oldukça güçlüdür. Kısa dalga boylu lambalar, küçük bir alanda çok fazla enerji depoladığı için, eğer konveyör bandı çok yavaş hareket ederse malzemenin yüzeyi yanabilir. “Ayarlayıp unutmak” mümkün değildir. Hızlı sıcaklık artışlarına karşı ayarlanabilen PID kontrol cihazlarına ihtiyaç vardır.
Ayrıca, “temiz” olmanın ne anlama geldiğini de biliyoruz. İşte bu yüzden kuvars kaplamalarımız düşük gaz salımı için onaylanmıştır. Rastgele partiküllerin bir grup wafer’i bozmasından endişelenmenize gerek yok.
Alan tasarrufu
Hızın yanı sıra, ekipmanların boyutu da önemlidir. Sıcak hava fırınları genellikle çok büyük ve pahalı alanları kaplar. Öte yandan IR kurutma tünelleri oldukça kompakttır. Eğer üretimi artırmak istiyorsanız, zorlu hava sistemlerinin geride kalmasına izin veremezsiniz. IR sistemlerini bağlayıp malzeme ile olan mesafeyi ayarladığınızda, üretim hızınız anında artar. Bu, çok daha verimli bir çalışma şeklidir.