300mm hattında ashing sadece bir “yakma” işlemi değildir. Bu, sıkı bir termal bütçeyi yönetmektir. Strip sonrası kalan fotoresist kalıntısı bir sonraki litografi katmanına sızabilir ve ısıtma eşit değilse, veriminizi tüketebilecek termal kaçak riski doğar. Kızılötesi ashing modüllerimizi bu gerçeklikte çalışacak şekilde tasarladık.
Teknik olarak önemli olan
Kızılötesi size hızlı, temassız enerji verir ve bu enerji emilime göre ölçeklenir, genel sıcaklığa göre değil. Kuvars destekli termal tasarımla eşleştirilmiş kısa dalga kızılötesi yayıcılarımız, tam proses penceresi boyunca plaka seviyesinde ±0.1°C içinde uniformite sağlar. Sistem, fotoresist soyma için gerçekten kullandığınız set noktalarında bu kararlılığı korur ve kritik boyut kontrolünü koruyacak ölçüde tekrarlanabilirlik sağlar.
Temizoda uyumluluk sonradan düşünülmüş değildir. Düşük gaz salınımlı malzemeler, sızdırmaz bağlantılar ve partikül kontrollü yol kullanıyoruz, böylece partikül sayıları Class 1–100 beklentileri içinde kalır. Sonuç olarak, öngörülebilir strip profilleri, tutarlı kaldırma oranları ve alttaki filmlerde minimum termal stres elde edilir.
Sahanın neden işe yaradığı
Ashing’de zaman verimdir. Hızlı ısıtma, çevrim süresini kısaltır, ancak sadece sıcaklık kontrolü sapmazsa. Kızılötesi ısıtma, fotoresiste doğrudan enerji verir; böylece oda ve taşıyıcı daha serin kalır ve termal çapraz etkiler azalır. Bu, daha az sapma, daha az hurda ve vardiya sonrası sabit kalan verim sağlar.
Enerji kullanımı, enerji ihtiyaç duyulan yere—wafer üzerine—gittiği için düşer; tesisat ya da ekipman ısıtmasına gitmez. Güvenilirlik ise çalışma süresine bağlıdır: modüller 7/24 çalışır, planlı bakım aralıkları vardır ve binlerce waferda çıktı spesifikasyon içinde kalır.
Bilmeniz gerekenler
Kızılötesi ashing, yayıcı-impregnasyon mesafesine ve film tabakalarının emisyon farklılıklarına karşı hassastır. Kurulumda sabit bir boşluk kilitlenmeli ve stack’inize uygun bir kalibrasyon reçetesi gerekir. Set noktalarının ayarlanması ve lotlar arasında uniformitenin doğrulanması için kısa bir devreye alma süreci bekleyin.
Kalibre edildikten sonra proses sağlamdır—ancak bunu kontrollü bir parametre olarak değerlendirin, herkes için tek tip bir varsayılan gibi değil.