บนสายการผลิต 300mm การเผาเทียบเท่าไม่ได้เป็นแค่การ “burn-off” แต่เป็นการบริหารงบประมาณความร้อนที่เข้มงวด คราบสารเรซิ่นที่ตกค้างหลังการล้างอาจส่งผลกระทบต่อชั้นลิโธกราฟีถัดไป และถ้าการให้ความร้อนไม่สม่ำเสมอ จะเสี่ยงต่อ thermal runaway ที่ส่งผลเสียต่อผลผลิต เราออกแบบโมดูลเผาอินฟราเรดให้ตอบโจทย์สถานการณ์ดังกล่าว
สิ่งที่สำคัญเชิงเทคนิค
อินฟราเรดให้พลังงานที่รวดเร็วและไม่สัมผัสโดยส่งผ่านตามการดูดซับ ไม่ใช่ตามอุณหภูมิรวม ตัวปล่อยคลื่นสั้นอินฟราเรดของเราคู่กับการออกแบบความร้อนที่เสริมด้วยควอตซ์ ควบคุมความสม่ำเสมอระดับเวเฟอร์ในช่วง ±0.1°C ตลอดหน้าต่างกระบวนการ ระบบรักษาเสถียรภาพที่จุดตั้งค่าจริงสำหรับการล้าง photoresist ด้วยความแม่นยำซ้ำซ้อนที่ช่วยควบคุมมิติสำคัญให้คงที่
การรองรับคลีนรูมไม่ได้เป็นแค่เรื่องรอง เราใช้วัสดุปล่อยก๊าซต่ำ มีรอยต่อที่ปิดมิดชิด และเส้นทางที่ควบคุมฝุ่นละอองอย่างเข้มงวด เพื่อให้ระดับฝุ่นละอองอยู่ภายในเกณฑ์ Class 1–100 ผลลัพธ์คือโปรไฟล์การล้างที่คาดเดาได้ อัตราการล้างที่สม่ำเสมอ และความเครียดความร้อนที่เกิดขึ้นกับฟิล์มใต้สุดต่ำที่สุด
ทำไมมันจึงใช้ได้ในโรงงาน
ในกระบวนการเผา เวลาเท่ากับผลผลิต การเร่งความร้อนอย่างรวดเร็วช่วยลดเวลารอบแต่ต้องควบคุมอุณหภูมิไม่ให้เกิดการเบี่ยงเบน อินฟราเรดให้ความร้อนตรงไปที่เรซิ่นโดยตรง ทำให้ห้องและตัวจับเวเฟอร์เย็นกว่า ลดการรบกวนความร้อนระหว่างส่วนประกอบ นั่นหมายถึงการเกิดความผิดปกติน้อยลงของกระบวนการ ลดของเสีย และรักษาอัตราผลลัพธ์ต่อกะอย่างสม่ำเสมอ
การใช้พลังงานลดลงเนื่องจากพลังงานถูกส่งไปยังจุดที่ต้องการโดยตรง คือบนเวเฟอร์ ไม่กระจายไปให้ชิ้นส่วนทำความร้อนอื่นๆ ความน่าเชื่อถือขึ้นอยู่กับเวลาทำงาน: โมดูลทำงานต่อเนื่อง 24/7 พร้อมหน้าต่างบำรุงรักษาที่กำหนดไว้ และผลลัพธ์คงที่ตามสเปกผ่านเวเฟอร์หลายพันแผ่น
สิ่งที่ต้องรู้
การเผาอินฟราเรดไวต่อระยะห่างระหว่างปล่อยคลื่นกับเวเฟอร์ และความแตกต่างของการแผ่รังสีความร้อนในแต่ละชั้นฟิล์ม การติดตั้งต้องล็อกระยะห่างให้คงที่ และต้องมีสูตรการสอบเทียบที่เหมาะสมกับสแตกของคุณ ควรเผื่อระยะเวลาการเตรียมระบบสั้นๆ เพื่อปรับจูนจุดตั้งค่าและยืนยันความสม่ำเสมอในแต่ละล็อต
เมื่อผ่านการสอบเทียบแล้ว กระบวนการจะมีความเสถียร แต่ต้องถือเป็นพารามิเตอร์ที่ควบคุมอย่างเข้มงวด ไม่ใช่ค่าดีฟอลต์ที่ใช้ได้กับทุกกรณี