หยุดไม่ให้องค์ประกอบที่ใช้ในการให้ความร้อนทำลายเวเฟอร์ของคุณได้
หากคุณทำงานในห้องสะอาดระดับ Class 100 คุณก็คงรู้ดีว่าตัวกรองอากาศนั้นช่วยได้เพียงครึ่งเดียวเท่านั้น ปัญหาจริงๆ ก็คือองค์ประกอบที่ใช้ในการให้ความร้อนนั่นเอง องค์ประกอบเหล่านี้อาจก่อให้เกิดก๊าซและอนุภาคต่างๆ ขึ้นมาได้ ซึ่งเป็นสิ่งที่คุณไม่อยากให้เกิดขึ้นเลย
นั่นคือเหตุผลที่เราใช้ควอตซ์สังเคราะห์ที่มีความบริสุทธิ์สูงสำหรับหลอด IR ของเรา วิธีนี้จะช่วยป้องกันไม่ให้มีสิ่งสกปรกเข้ามาทำลายเวเฟอร์ของคุณได้
เรื่องของวัสดุ
ควอตซ์ทั่วไปมักมีสิ่งปนเปื้อนอยู่ และเมื่ออุณหภูมิสูงขึ้น สิ่งปนเปื้อนเหล่านี้ก็จะระเหยออกมา ซึ่งไม่ใช่เรื่องดีเลย เราจึงเลือกใช้ซิลิกาที่มีความบริสุทธิ์สูง เพื่อให้หลอดไม่ปล่อยอนุภาคออกมาทุกครั้งที่อุณหภูมิเปลี่ยนแปลง เรายังต้องให้แน่ใจว่าควอตซ์นั้นมีความทนทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างรวดเร็วอีกด้วย นั่นหมายถึงจะไม่มีการแตกหักของควอตซ์ และไม่มีเศษแก้วหรือฝุ่นขนาดเล็กเข้ามาในห้องปฏิบัติการของคุณ
การควบคุมอุณหภูมิให้เหมาะสม
เราใช้หลอด IR แบบคลื่นสั้น เพราะจะช่วยให้ความร้อนถึงพื้นผิวของเวเฟอร์ได้อย่างรวดเร็ว ยิ่งอุณหภูมิสูงขึ้นเร็วเท่าไหร่ เวเฟอร์ก็จะอยู่ในอุณหภูมิสูงเป็นเวลาน้อยลงเท่านั้น นั่นเป็นข้อดีมาก เพราะจะช่วยลดความเสี่ยงที่จะเกิดปฏิกิริยาเคมีที่ไม่พึงประสงค์บนเวเฟอร์ได้
ความแม่นยำมีความสำคัญมาก หากคุณใช้เครื่องมือขนาด 300 มม. ความยาวและกำลังไฟของหลอดก็ต้องเหมาะสมกับแหล่งจ่ายไฟของคุณด้วย หากไม่เป็นเช่นนั้น ก็จะเกิดจุดร้อนขึ้น และหากคุณเลือกกำลังไฟที่สูงเกินไปโดยไม่มีพัดลมที่เพียงพอในการระบายความร้อน หลอดก็จะไหม้เร็วเกินไป
การเปลี่ยนหลอดใหม่ (และการรักษาหลอดให้อยู่ในสภาพดี)
เราใช้ขั้วต่อมาตรฐาน ดังนั้นการเปลี่ยนหลอดจึงทำได้ง่ายมาก คุณไม่จำเป็นต้องใช้เวลามากมายในการเดินสายใหม่ทั้งชุดเพียงเพื่อเปลี่ยนหลอดที่เสียไป
แต่มีข้อควรระวังอย่างหนึ่งคือ ควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูงนั้นมีความไวต่อน้ำมันบนผิวหนังมาก นิ้วมือของคุณอาจทำให้เกิดจุดเสียหายได้ ดังนั้นกรุณาใส่ถุงมือที่ไม่มีขนเมื่อติดตั้งหลอดเหล่านี้ หากมีน้ำมันเข้าไปบนควอตซ์ ก็จะทำให้เกิดจุดเสียหายก่อนที่หลอดจะไหม้จริงๆ นี่เป็นขั้นตอนเล็กๆ น้อยๆ ที่ช่วยลดความยุ่งยากได้มากเลยทีเดียว.