Хватит ждать, пока нагреются печи: более эффективный способ нагрева пластин
Если вы зайдете в большинство производственных цехов по производству полупроводников, вы увидите ту же самую структуру: циркуляция горячего воздуха. По сути, это огромная конвекционная печь. Сначала нагревается воздух, затем он нагревает помещение, после чего приходится ждать, пока тепло действительно проникнет в пластину.
Этот процесс медленный. Честно говоря, это самое большое препятствие на всем этапе производства. Время, потраченное на ожидание, является пустой тратой времени.
Отказ от лишних компонентов
Инфракрасное обогревание работает иначе. Вместо того чтобы использовать воздух, инфракрасные излучатели направляют электромагнитное излучение прямо на поверхность пластины. Энергия мгновенно поглощается поверхностью. Речь идет о миллисекундах, а не о минутах. Таким образом исчезает необходимость в массивных вентиляторах и сложных системах обогрева. Все происходит автоматически.
Больше пространства, меньше компонентов
Когда вы отказываетесь от использования принудительной циркуляции воздуха, у вас появляется больше свободного пространства. Вам больше не нужны огромные изолированные печи или шумные вентиляторы для поддержания стабильной температуры. К тому же можно использовать инфракрасные излучатели для нагрева определенных областей пластины. Это позволяет достичь высокой точности, которой невозможно добиться с использованием обычного воздушного обогрева. Поскольку процесс нагрева и охлаждения происходит гораздо быстрее, не нужно больше ждать. Производительность повышается, так как вы можете выполнять работу без перерывов.
Недостатки (ведь они всегда есть)
Инфракрасное обогревание имеет свои недостатки. Поскольку тепло передается очень прямо, необходимо быть осторожным. Если излучатели расположены неправильно или контроллеры настроены некорректно, возникают «точки перегрева». Нельзя просто заменить оборудование и забыть об этом. Необходимо переосмыслить расположение датчиков. А если система охлаждения не справляется с такими резкими изменениями температуры? Поверхность пластины может деформироваться.
Но для тех, кто хочет сократить время производства, это лучший вариант. Это как разница между нагревом всей комнаты и простым использованием фонарика. Вы можете закончить обработку деталей гораздо быстрее.