На линиях производства типа FO-WLP стабильность параметров RDL начинается с этапа нагрева пластин. Изменение температуры на 1°C во время процесса мягкого нагрева фотополимерной пленки или затвердевания упаковочного материала может привести к изменению ширины линий на поверхности пластины, возникновению пустот и порче пластин, которые уже прошли процедуру литографии. Мы разработали специальный нагреватель для упаковки пластин, который обеспечивает стабильную температуру на протяжении всего процесса производства.
Суть технологии заключается в использовании коротковолнового инфракрасного излучения от матрицы из кварца и галогеновых элементов. Это позволяет быстро достичь заданной температуры без её превышения. На всей площади пластины в 300 мм однородность температуры составляет ±0,1°C при типичных температурах мягкого нагрева (90–120°C) и жесткого нагрева (100–150°C). Соответствие стандартам чистых помещений класса 1–100 обеспечивается за счет использования корпуса из нержавеющей стали 316L, изоляторов из PVDF, а также системы контроля за наличием частиц в воздухе. Контроллер поддерживает стабильную температуру в реальном времени, обеспечивая точность в пределах ±0,2°C между партиями продукции и в течение дня.
Линии производства типа FO-WLP работают при строгих температурных ограничениях. Этот нагреватель помогает соблюдать эти ограничения, даже при круглосуточной работе. Ожидается отсутствие непланированных простоев в процессе непрерывного производства; средний срок службы устройства превышает 10 000 часов. В результате сокращается количество необходимости переработки продукции, обеспечивается стабильный контроль критических размеров пластин, а также можно точно планировать время выполнения операций. Потребление энергии минимально благодаря низкой тепловой массе устройства и эффективной передаче тепла, что позволяет снизить затраты на эксплуатацию без ущерба для точности температуры.
Установка устройства сводится к соответствию его интерфейсов требованиям оборудования и правильной организации системы вентиляции для поддержания оптимального давления в чистых помещениях.
Максимальная эффективность достигается, когда нагреватель находится в пределах ±1 мм от целевой точки, а каналы охлаждения свободны от загрязнений. Для интеграции устройства требуется один день, после чего проводятся краткие тесты для подтверждения его работоспособности.