Как сохранить чистоту в классе 100
Если вы управляете помещением класса 100 (ISO 5), вы уже знаете, насколько опасны даже единичные частицы пыли. Одно маленькое кусочек оксида или небольшое количество газов, выделяемых нагревательным элементом, могут разрушить вашу пластину или оптический компонент.
Обычные резистивные нагреватели часто становятся причиной таких проблем. Они трескаются, окисляются; они просто не предназначены для работы в условиях такой высокой точности. Поэтому мы используем инфракрасные лампы из синтетического кварца высокой чистоты.
Почему кварц подходит для этой цели
Мы используем кварц, полученный путем спекания кремниевой силикатной смеси. Преимущество заключается в том, что он не разрушается и не выделяет микроскопические частицы, даже при экстремальных температурах.
К тому же тепло передается посредством коротковолнового инфракрасного излучения. Энергия направляется прямо на изделие, а не на воздух вокруг него, что минимизирует возникновение пыли. Это просто и эффективно.
Детали установки
Эти лампы способны выдерживать высокую плотность тепла. Мы можем использовать лампы диаметром 100 мм для быстрого нагрева отдельных участков, а также лампы диаметром 500 мм для нагрева всей пластины. Мощность ламп выбирается в зависимости от размеров помещения.
Одной из важных деталей являются соединители. Мы используем соединители типа R7 или SK15, чтобы обеспечить надежное соединение. Необходимо избегать слабых соединений – они могут вызвать проблемы с работой лампы, а также могут привести к появлению металлических паров в чистом помещении. Никто не хочет иметь дело с такой проблемой.
В зависимости от того, что вы нагреваете, вам может потребоваться использование различных покрытий. Чистый кварц обеспечивает мощное инфракрасное излучение. Но если вы беспокоитесь о возникновении «горячих точек», можно использовать тонкослойное покрытие для равномерного распределения тепла.
Несколько советов от практики
Лампы из кварца работают очень быстро – они достигают нужной температуры почти мгновенно. Но при этом они очень горячие. Если вы поместите лампу высокой мощности в тесном корпусе, вентиляторы должны быть достаточно мощными, чтобы охладить лампу. Если воздух не будет циркулировать вокруг лампы, это может привести к повреждению соединителей. Также необходимо тщательно проверять проводку – она должна находиться подальше от зоны излучения, иначе изоляция может расплавиться.