Прекратите ждать, пока разогреется печь: почему инфракрасное излучение лучше, чем горячий воздух
Многие производства полупроводников по-прежнему используют системы с циркуляцией горячего воздуха для высыхания и обработки материалов. Это устаревший метод: необходимо нагреть воздух и надеяться, что он проникнет достаточно глубоко в материал, чтобы выполнить свою функцию.
Проблема в том, что этот метод крайне медленный. На производствах с высоким давлением это не просто неприятность – это серьезное препятствие, которое замедляет работу всего процесса.
Мы заменяем эти неэффективные системы на сертифицированные лампы инфракрасного излучения. Вот почему этот переход меняет все.
Отказ от посредников
Подумайте о том, как работает горячий воздух. Воздух должен соприкоснуться с пластиной, передать тепло, а затем ждать, пока тепло проникнет в материал. По сути, воздух является посредником, а посредники всегда замедляют процесс.
Лампы инфракрасного излучения обходят этот процесс. Они излучают электромагнитные волны, которые напрямую попадают в материал. Это происходит мгновенно. Не нужно ни нагревать помещение, ни ждать, пока печь достигнет нужной температуры. Для инженеров это настоящий подарок – время, необходимое для обработки одной пластины, снижается на 50–80%. Это зависит от толщины материала и необходимой температуры.
Недостатки и способы их преодоления
Инфракрасное излучение – это не волшебство. Оно мощное, но требует осторожности. Поскольку лампы с коротковолновым излучением содержат большое количество энергии, при слишком медленном движении конвейера поверхность материала может быть повреждена. Нельзя просто «настроить все и забыть». Необходимы контроллеры типа PID, которые смогут справляться с резкими изменениями температуры.
Мы также знаем, что под «чистотой» в производственных условиях подразумевается действительно чистая среда. Поэтому наши кварцевые корпуса сертифицированы как материалы с минимальным выделением частиц. Не нужно беспокоиться о том, что какие-то частицы могут повредить партию пластин.
Экономия пространства
Помимо скорости, еще одним преимуществом является размер оборудования. Печи с горячим воздухом обычно имеют огромные размеры и занимают много дорогостоящего пространства. Лампы инфракрасного излучения, напротив, имеют компактные размеры. Если вы хотите расширить производство, вам необходимо использовать такое оборудование. Достаточно просто подключить лампы и настроить расстояние до материала – и производительность сразу возрастет. Это гораздо более эффективный способ работы.