Na linii produkcyjnej sytuacja jest taka sama: jeśli jakaś z wartości parametrów procesu wyjdzie poza normy, wtedy cała partia produktu musi zostać oddana do recyklingu. Wymienny rozkład temperatury nie tylko marnuje materiał, ale także wpływa negatywnie na efektywność procesu litograficznych i pakowania. Potrzebny jest więc system utrzymywania stałej temperatury, który nie stanowi dodatkowej zmiennej, którą trzeba dostosowywać.
Co jest ważne pod względem technicznym? Nasz system utrzymywania stałej temperatury zapewnia jednolitość temperatury na całej powierzchni podłoża na poziomie ±0,1°C. System ten jest umieszczony w środowisku klasy czystości 1–100. Moduł grzewczy pracuje przy użyciu krótkofalowego promieniowania podczerwonego, a precyzyjna kontrola temperatury odbywa się za pomocą czujników umieszczonych na powierzchni – nie opiera się ona na szacunkach wynikających z czujników w pomieszczeniu. Ilość cząsteczek utworzonych podczas procesu wynosi mniej niż 1 cząsteczka na stopę sześcienną przy rozmiarze 0,1 μm. Drogi przepływu powietrza są tak zaprojektowane, aby uniknąć turbulencji, które mogłyby zakłócić proces sklejania elementów. Powtarzalność procesu wynosi ≤0,2% przy 10 000 cyklach – w produkcji półprzewodników taka dokładność jest kluczowa.
Dlaczego ten system sprawdza się w procesie sklejania elementów? Kleje używane w tym procesie wymagają specjalnych warunków termicznych do procesu utwardzania. Jeśli temperatura jest zbyt niska, więzi między elementami pozostają niewystarczająco silne. Jeśli temperatura jest zbyt wysoka, gazy uwalniane podczas utwardzania mogą zanieczyścić powierzchnię elementów. Nasz system zapewnia idealne warunki termiczne – od startu procesu po jego zakończenie – dzięki czemu zawsze uzyskujemy efekty odpowiadające specyfikacji producenta kleju. To oznacza mniej konieczności przeróbki produktów, bardziej spójną siłę przyklejenia oraz proces utwardzania, który nie stanowi problemu. Zużycie energii jest o 20–30% mniejsze w porównaniu z tradycyjnymi piecami konwekcyjnymi, a czas realizacji procesu jest krótszy ze względu na małą masę cieplną i szybką reakcję systemu sterującego.
Co należy zaplanować z góry? Ten system jest zaprojektowany do integracji z automatycznymi liniami produkcyjnymi. Jednak wymaga stabilnego dopływu energii o niskim poziomie szumów oraz specjalnego systemu odprowadzania gazów, aby utrzymać pożądany poziom czystości powietrza. Nie nadaje się bezpośrednio do zastąpienia tradycyjnych elementów grzewczych, chyba że interfejsy związane z obsługą elementów i odprowadzaniem gazów są dostosowane. Planujcie modernizację w oparciu o aktualne procedury MES, a także sprawdźcie efektywność systemu na podstawie specyfiki używanego kleju – zachowanie termiczne kleju zależy od jego składu chemicznego.