De juiste warmte krijgen in een slimme fabriek
Als je een halfgeleiderfabriek runt, weet je vast al dat UHP-verwarmingslampen de standaard zijn voor thermische verwerking. Maar naarmate we steeds meer overgaan op deze “Industry 4.0”-oplossingen, is warmte niet langer het enige belangrijke aspect. Het gaat eerder om de manier waarop die warmte wordt gebruikt in combinatie met de gegevens die worden verzameld.
Waarom we kiezen voor infraroodverwarming
De ouderwetse resistieve verwarming is gewoon te traag voor moderne, gedigitaliseerde productielijnen. Daarom gebruiken we kortegolf-infraroodlicht (SWIR). Dit type licht bereikt zijn doel bijna onmiddellijk.
Die snelheid is dus cruciaal. Als je een digitaal dubbelgemaakt systeem wilt gebruiken of je proces in real-time wilt beheren, heb je een systeem nodig dat zich razendsnel kan aanpassen. Als het lang duurt voordat de temperatuur verandert, is je feedbackloop nutteloos.
Details over de thermische dichtheid
Deze lampen maken gebruik van kwartsomhulsels van hoge zuiverheid. Waarom? Omdat je natuurlijk niet wilt dat metalen de kwaliteit van het product beïnvloeden.
We proberen hier altijd een hoge vermogensdichtheid te bereiken. Het doel is om zoveel mogelijk BTU’s in een klein gebied te krijgen. Dit is enorm handig wanneer er weinig ruimte beschikbaar is in de schone ruimtes.
Er is echter één nadeel: wanneer deze lampen op volle kracht werken, wordt er veel druk uitgeoefend op het chassis. Je moet ervoor zorgen dat de koeling goed werkt. Anders kunnen de lampen te vroeg kapotgaan. Het is een kwestie van balans vinden.
Stop met raden, begin met monitoren
In een slimme fabriek hebben we afstand genomen van het principe “zet het in en vergeet het”.
Deze lampen worden rechtstreeks aangesloten op PID-regelaars die de gegevens terugsturen naar het MES-systeem. Door de schommelingen in stroom en spanning in de gaten te houden, kunnen we precies zien wanneer een lamp op het punt staat te vervagen – voordat deze een hele batch wafer’s beschadigt.
Hierdoor hoef je niet meer te raden. In plaats van onderdelen op basis van een kalender te vervangen of te hopen op het beste resultaat, kun je ze vervangen op basis van de werkelijke slijtage. Hierdoor wordt een frustrerend consumptieonderdeel in iets voorspelbaars veranderd.