
Memastikan Suhu yang Tepat dalam Kilang Pemprosesan Semikonduktor yang Cerdas
Jika anda mengendalikan kilang pemprosesan semikonduktor, anda pasti sudah tahu bahawa lampu pemanas jenis UHP merupakan pilihan terbaik untuk proses pemanasan. Namun, dalam era “Industry 4.0” ini, suhu bukanlah satu-satunya faktor yang penting. Yang lebih penting ialah cara suhu tersebut mempengaruhi data yang dihasilkan.
Mengapa kita menggunakan sinar inframerah
Kaedah pemanasan konvensional terlalu lambat untuk digunakan dalam sistem yang berbasis digital. Itulah sebabnya kita menggunakan sinar inframerah berfrekuensi rendah (SWIR). Sinar ini dapat memberikan kesan pemanasan dengan cepat.
Kehandalan inilah yang sangat penting. Jika anda ingin menguruskan proses secara real-time, anda memerlukan sistem yang dapat menyesuaikan suhu dengan cepat. Jika memerlukan masa yang lama untuk mengubah suhu, maka sistem maklum balas data tersebut tidak akan berguna.
Butiran berkaitan kepadatan haba
Lampu-lampu ini menggunakan selubung kuarsa berkualiti tinggi. Mengapa? Kerana kita tidak mahu adanya kotoran logam yang merosakkan proses pemprosesan.
Kita biasanya menggunakan lampu yang memiliki kekuatan pemanasan yang tinggi. Tujuannya adalah untuk mendapatkan sebanyak mungkin tenaga pemanasan dalam ruang yang kecil. Ini sangat penting apabila ruang di bilik bersih sangat terhad.
Namun, ada masalahnya. Apabila lampu ini beroperasi pada tahap maksimum, ia akan memberi beban yang besar kepada sistem penyejukan. Anda perlu memastikan sistem penyejukan berfungsi dengan baik. Jika aliran udara tidak mencukupi, lampu tersebut akan rosak lebih awal. Ini memerlukan keseimbangan yang tepat.
Berhenti membuat tekaan, mulailah memantau
Dalam kilang yang cerdas, kita sudah tidak lagi menggunakan pendekatan “set dan lupa”. Lampu-lampu ini disambungkan terus ke pengawal PID yang menghantar data mentah ke MES. Dengan memantau fluktuasi arus dan penurunan voltan, kita dapat mengetahui bila lampu tersebut akan rosak, sebelum ia merosakkan keseluruhan produk yang diproses.
Ini menghilangkan keperluan untuk membuat tekaan. Daripada mengganti komponen berdasarkan jadual tertentu atau berharap yang terbaik, kita boleh menggantinya berdasarkan keadaan sebenar komponen tersebut. Dengan cara ini, komponen yang mudah rosak dapat dikendalikan dengan lebih efektif.