On the 300mm line, ashing bukan sekadar “burn-off.” Ia menguruskan bajet terma yang ketat. Sisa photoresist selepas penyingkiran boleh meninggalkan jejak dalam lapisan litografi berikutnya, dan jika pemanasan tidak sekata, risiko larian termal boleh mengurangkan hasil. Kami mereka modul ashing inframerah kami untuk beroperasi dalam keadaan tersebut.
Apa yang penting, dari segi teknikal
Inframerah memberikan tenaga pantas tanpa sentuhan yang berskala mengikut penyerapannya, bukan mengikut suhu pukal. Pemancar inframerah gelombang pendek kami, digabungkan dengan reka bentuk haba dipertingkatkan kuarza, mengekalkan uniformiti pada tahap wafer dalam lingkungan ±0.1°C merentas julat proses penuh. Sistem ini mengekalkan kestabilan pada titik tetapan yang digunakan untuk penyingkiran photoresist dengan kebolehulangan yang cukup ketat untuk mengekalkan kawalan dimensi kritikal.
Keserasian dengan bilik bersih bukan sesuatu yang dipandang remeh. Kami menggunakan bahan rendah keluar gas, sambungan tertutup dan laluan terkawal zarah supaya jumlah zarah kekal dalam jangkaan Kelas 1–100. Hasilnya adalah profil penyingkiran yang boleh diramalkan, kadar pembuangan konsisten, dan tekanan termal minimum pada filem asas.
Mengapa ia berfungsi di lantai pengeluaran
Dalam ashing, masa adalah hasil. Peningkatan suhu yang pantas memendekkan masa kitaran, tetapi hanya jika kawalan suhu tidak berubah. Pemanasan inframerah terus mengena pada resist, jadi ruang tindak dan pembawa kekal lebih sejuk serta kesan termal silang berkurang. Ini bermakna kurang penyimpangan suhu, kurang bahan buangan, dan kelajuan pengeluaran yang stabil setiap syif.
Penggunaan tenaga berkurang kerana tenaga dihantar ke bahagian yang diperlukan—iaitu wafer—bukan pada alat pemanas. Kebolehpercayaan bergantung pada masa operasi: modul beroperasi 24/7 dengan jadual penyelenggaraan yang ditetapkan, dan output kekal dalam spesifikasi untuk ribuan wafer.
Apa yang perlu anda tahu
Ashing inframerah sensitif terhadap jarak pemancar-ke-wafer dan perbezaan emissiviti merentasi susunan filem. Pemasangan mesti mengunci jurang tetap, dan anda memerlukan resipi kalibrasi yang sesuai dengan susunan anda. Jangka masa pengujian ringkas diperlukan untuk menetapkan titik tetapan dan mengesahkan uniformiti merentas lot.
Setelah dikalibrasi, proses ini kukuh—tetapi perlakukan ia sebagai parameter terkawal, bukan sebagai setelan umum untuk semua keadaan.