真空チャンバー用赤外線ヒーター

空気を加熱するのをやめよう：半導体の熱処理をより効率的に行う方法 従来の抵抗式炉について正直に言えば、それらはエネルギーの無駄遣いです。チャンバ全体を加熱するために莫大な電力が消費されますが、そのうちの大部分はウェハには届きません。これは電力の無駄であり、炭素排出量を増やす原因にもなります。 私た...