Impedite ai elementi riscaldanti di rovinare i vostri wafer
Se operate in una sala pulita di Classe 100, sapete già che i filtri dell’aria bastano soltanto per metà del lavoro da svolgere. Il vero problema sono gli elementi riscaldanti: possono essere fonti di emissione di gas e di particelle, proprio nel momento in cui meno se ne può permettere.
Ecco perché utilizziamo quarzo sintetico ad alta purezza per le nostre lampade a radiazioni infrarosse. In questo modo, si evita che delle impurità finiscano sui wafer.
I materiali utilizzati
Il quarzo standard contiene solitamente impurità. Quando il materiale diventa caldo, queste impurità si volatilizzano… il che non è affatto positivo. Noi preferiamo utilizzare silice ad alta purezza, in modo che la struttura della lampada non emetta particelle ogni volta che la temperatura cambia. Inoltre, assicuriamoci che il quarzo sia ben fuso, in modo da resistere ai cicli rapidi di riscaldamento e raffreddamento. Così non ci saranno crepe, né frammenti di vetro, né polveri microscopiche che potrebbero entrare nella camera di lavorazione.
Controllare la temperatura corretta
Utilizziamo radiazioni infrarosse a breve lunghezza d’onda, poiché permettono un rapido riscaldamento della superficie del wafer. Più velocemente il wafer si riscalda, meno tempo trascorre a temperature estreme. Questo riduce notevolmente il rischio di reazioni chimiche indesiderate sul substrato. La precisione è fondamentale: se si utilizza uno strumento da 300 mm, la lunghezza e la potenza della lampada devono essere perfettamente compatibili con l’alimentatore. Altrimenti, si creano zone di surriscaldamento. Inoltre, se si sceglie una potenza eccessiva senza fan adeguati per dissipare il calore, i filamenti si bruciano molto prima del previsto.
Sostituire gli elementi riscaldanti (e mantenerli funzionanti)
Utilizziamo connettori standard, quindi questi elementi possono essere sostituiti facilmente. Non sarà necessario passare tutto il pomeriggio a riprogrammare i circuiti solo per sostituire un tubo danneggiato.
Tuttavia, un avvertimento importante: il quarzo ad alta purezza è sensibile agli oli della pelle. Una sola impronta digitale può causare problemi. Per favore, utilizzate guanti anti-polvere durante l’installazione. Se l’olio entra in contatto con il quarzo, questo si danneggierà molto prima che i filamenti si brucino. È un piccolo gesto che eviterà molti problemi.