Pada proses FO-WLP, stabilitas RDL dimulai sejak masa pemanasan. Perubahan suhu sebesar 1°C selama proses pemanasan fotoresistor atau pengeringan bahan penyegel dapat menyebabkan perubahan lebar garis pada wafer, munculnya rongga-rongga di dalam wafer, serta merusak wafer yang sudah berhasil melewati proses litografi. Kami menciptakan alat pemanas khusus untuk menjaga stabilitas suhu, agar performa alat tetap konsisten dari satu sesi produksi ke sesi produksi berikutnya.
Inti teknologinya adalah penggunaan sinar inframerah gelombang pendek dengan array pemancar berbahan kuarsa-halogen. Dengan demikian, alat ini dapat mencapai suhu yang ditentukan dengan cepat, tanpa terjadi overshoot. Di seluruh area 300 mm tersebut, ketahanan suhu wafer tetap stabil pada kisaran ±0,1°C pada suhu pemanasan biasa (90–120°C) dan suhu pemanasan tinggi (100–150°C). Kompatibilitas dengan lingkungan cleanroom kelas 1–100 dicapai melalui penggunaan bahan stainless steel tipe 316L, isolator berbahan PVDF, serta sistem pemantauan partikel yang efektif. Kontroler alat ini mempertahankan stabilitas suhu secara real-time, sehingga ketepatan suhu tetap terjaga dalam kisaran ±0,2°C antar batch produksi maupun dari hari ke hari.
Proses FO-WLP membutuhkan pengelolaan suhu yang sangat tepat. Alat pemanas ini membantu menjaga stabilitas suhu tersebut, bahkan saat beroperasi 24/7. Dengan demikian, tidak akan ada gangguan produksi yang tidak terduga, dan masa pakai alat ini bisa mencapai lebih dari 10.000 jam. Hasilnya adalah peningkatan kualitas produk, kontrol dimensi yang lebih baik, serta waktu produksi yang lebih konstan. Konsumsi energi juga tetap rendah berkat massa termal yang rendah dan efisiensi pemancar panas, sehingga biaya operasional menurun tanpa mengorbankan akurasi suhu.
Pemasangan alat ini membutuhkan antarmuka alat yang sesuai, serta sistem pembuangan udara yang efektif untuk menjaga perbedaan tekanan di dalam cleanroom. Untuk mendapatkan performa maksimal, alat pemanas harus diposisikan dalam jarak ±1 mm dari target chuck, dan saluran pendinginan harus bebas dari kotoran. Proses integrasi alat ini membutuhkan waktu sekitar satu hari, dilanjutkan dengan uji coba singkat untuk memastikan alat berfungsi dengan baik.