En la línea FO-WLP, la estabilidad del RDL comienza durante el proceso de cocción. Una variación de 1°C durante el proceso de cocción suave del fotoreductor o durante la curado del encapsulante puede afectar el ancho de las líneas, causar la formación de vacíos y dañar las obleas que ya han superado con éxito el proceso de litografía. Por eso, hemos diseñado un calentador de nivel de oblea que permite mantener un comportamiento térmico estable, lote tras lote.
La unidad utiliza radiación infrarroja de onda corta, con un array de emisores de cuarzo-halojeno. Esto permite que el calentador alcance rápidamente la temperatura deseada, sin excederla. En todo el área de 300 mm, se mantiene una uniformidad térmica de ±0,1°C en las temperaturas típicas de cocción suave (90–120°C) y en las temperaturas más altas (100–150°C). La compatibilidad con salas limpias de clase 1–100 se logra gracias a la construcción en acero inoxidable 316L, aislantes de PVDF y a la ausencia total de partículas, lo cual se verifica mediante monitoreo en tiempo real. El controlador mantiene el ciclo térmico cerrado en tiempo real, logrando una repetibilidad dentro de ±0,2°C de lote en lote y día a día.
Los sistemas FO-WLP operan bajo un presupuesto térmico muy estricto. Este calentador protege ese presupuesto al mantenerse dentro de los parámetros especificados, incluso durante operaciones continuas de 7×24 horas.
Se espera que no haya interrupciones no planificadas en la producción continua, con un tiempo medio entre fallos superior a 10,000 horas. Como resultado, hay menos re trabajos, un control estable de las dimensiones críticas y tiempos de ciclo predecibles. El consumo de energía también es bajo, gracias a la baja masa térmica y al eficiente acoplamiento de los emisores, lo que reduce los costos operativos sin sacrificar la precisión de la temperatura.
La instalación se basa en interfaces de herramientas adecuadas y en un sistema de extracción de aire verificado, para mantener las diferencias de presión en las salas limpias.
Se obtiene un rendimiento óptimo cuando el calentador está alineado a una distancia de ±1 mm del portabultos objetivo, y cuando el camino de enfriamiento está libre de residuos. Se recomienda un tiempo de integración de un día, seguido de pruebas breves para ajustar los parámetros del sistema.