300mm লাইনের জন্য
অ্যাসিং কেবলমাত্র একটি “বার্ন-অফ” নয়। এটি একটি কঠোর তাপীয় বাজেট পরিচালনা করা। স্ট্রিপ করার পরে অবশিষ্ট ফটোরেজিস্টের অবশিষ্টাংশ পরবর্তী লিথোগ্রাফি স্তরে গােলে যেতে পারে, এবং যদি তাপমাত্রা সমান না হয়, তাহলে আপনি তাপীয় রানওয়ে ঝুঁকিতে রয়েছেন যা আপনার আউটপুটকে খরচ করবে। আমরা আমাদের ইনফ্রারেড অ্যাশিং মডিউলগুলি সেই বাস্তবতায় কাজ করার জন্য তৈরি করেছি।
প্রযুক্তিগত দিক থেকে গুরুত্বপূর্ণ
ইনফ্রারেড আপনাকে দ্রুত, যোগাযোগহীন শক্তি দেয় যা শোষণের সাথে স্কেল করে, ভর তাপমাত্রার সাথে নয়। আমাদের শোর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড ইমিটারগুলি, একটি কোয়ার্টজ-সংশোধিত তাপীয় ডিজাইনের সাথে যুক্ত, সম্পূর্ণ প্রক্রিয়া উইন্ডো জুড়ে ±0.1°C এর মধ্যে ওয়েফার-স্তরের একরূপতা বজায় রাখে। সিস্টেমটি ফটোরেজিস্ট স্ট্রিপিংয়ের জন্য আপনি যে সেটপয়েন্টগুলি ব্যবহার করেন সেগুলির উপর স্থিতিশীলতা বজায় রাখে, পুনরাবৃত্তি এতটাই সঙ্কুচিত থাকে যে এটি গুরুত্বপূর্ণ মাত্রার নিয়ন্ত্রণ অক্ষত রাখে।
ক্লিনরুমের সামঞ্জস্য একটি পরবর্তী চিন্তা নয়। আমরা কম আউটগ্যাস উপকরণ, সিল করা জংশন এবং একটি কণার নিয়ন্ত্রিত পাথ ব্যবহার করি যাতে কণার সংখ্যা ক্লাস 1–100 প্রত্যাশার মধ্যে থাকে। এর ফলস্বরূপ, পূর্বনির্ধারিত স্ট্রিপ প্রোফাইল, সামঞ্জস্যপূর্ণ অপসারণের হার এবং ভিত্তিগত ফিল্মগুলির উপর সর্বনিম্ন তাপীয় চাপ পাওয়া যায়।
কারণ এটি ফ্লোরে কাজ করে
অ্যাসিংয়ে সময় হলো আউটপুট। দ্রুত র্যাম্প-আপ সাইকেল সময়কে সংক্ষিপ্ত করে, তবে কেবল তখনই যদি তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ বিচ্যুত না হয়। ইনফ্রারেড গরম করার ফলে প্রতিরোধক সরাসরি আঘাত পায়, তাই চেম্বার এবং ক্যারিয়ার শীতল থাকে এবং তাপীয় ক্রস-টক কমে যায়। এর মানে হলো কম এক্সকর্শন, কম স্ক্র্যাপ, এবং throughput যা প্রতি শিফটে স্থিতিশীল থাকে।
শক্তি ব্যবহারের হার কমে যায় কারণ শক্তি যেখানে প্রয়োজন সেখানে যায়—ওয়েফারে—গরম করার যন্ত্রপাতিতে নয়। নির্ভরযোগ্যতা আপটাইমের উপর নির্ভর করে: মডিউলগুলি 24/7 চলতে থাকে নির্ধারিত রক্ষণাবেক্ষণের সময়সীমার সাথে, এবং আউটপুট হাজার হাজার ওয়েফারের মধ্যে স্পেসিফিকেশনের মধ্যে থাকে।
আপনার যা জানা দরকার
ইনফ্রারেড অ্যাশিং ইমিটার থেকে ওয়েফারের দূরত্ব এবং ফিল্ম স্তরের মধ্যে এমিশিভিটি পার্থক্যের প্রতি সংবেদনশীল। ইনস্টলেশন একটি নির্দিষ্ট গ্যাপ লক করতে হবে, এবং আপনার স্তরের সাথে মিলে এমন একটি ক্যালিব্রেশন রেসিপি প্রয়োজন। সেটপয়েন্টগুলি ঠিক করতে এবং লটের মধ্যে একরূপতা নিশ্চিত করার জন্য একটি সংক্ষিপ্ত কমিশনিং সময়ের আশা করুন।
একবার ক্যালিব্রেট করা হলে, প্রক্রিয়াটি মজবুত—কিন্তু এটিকে একটি নিয়ন্ত্রিত প্যারামিটার হিসেবে বিবেচনা করুন, এক সাইজে সকলের জন্য নয়।