في قسم الطباعة بالليثوغرافيا، يلعب مستوى التسخين دورًا حاسمًا في التحكم في الأبعاد الدقيقة وشكل مادة الفوتوريزيست. أي تغير بمقدار 5 درجات مئوية في درجة حرارة المنطقة المسخنة قد يؤدي إلى انخفاض جودة طبقة الإيتشينج. لذلك، قمنا بتصميم مصباح التسخين بالأشعة تحت الحمراء للتغلب على هذه المشكلة.
ما الذي يهم من الناحية التقنية؟ إنه مصباح بأشعة تحت حمراء قصيرة الموجة، لذا فإن استجابته سريعة جدًا، أي في أقل من ثانية واحدة. كما أنه يوفر توزيعًا دقيقًا للطاقة على الرقاقة نفسها. يتم الحفاظ على توحيد درجة الحرارة على مستوى الرقاقة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، وهو ما يضمن تكرار عملية التسخين بشكل موثوق. كما أن المصباح يعمل بشكل نظيف، دون وجود أي جسيمات، ويمكن استخدامه في غرف نظيفة من الفئة 1-100 دون أي مشاكل. من ناحية الاستمرارية في العمل، فإن الإنتاجية مستقرة على مدار الساعة؛ حيث استمرت الوحدات في العمل لأكثر من 5,000 ساعة دون أن تتجاوز نسبة الانحراف في الإنتاج 5%.
لماذا يناسب هذا المصباح العمليات الفعلية؟ يمكن استخدامه مباشرة في خطوط الليثوغرافيا أو في محطات التسخين المستقلة. يحل محل الأجهزة القديمة التي تسبب ارتفاع درجة الحرارة، وهو ما يؤدي إلى تشكيل طبقات غير مرغوب فيها على سطح الفوتوريزيست. النتيجة هي عملية تسخين موثوقة، مما يحافظ على شكل الفوتوريزيست، وبالتالي يقلل من العيوب الموجودة في الرقاقة. كما أن الاستجابة السريعة للحرارة تقلل من وقت العملية، مما يقلل من التكاليف الحرارية لكل رقاقة ويزيد من الإنتاجية.
ما الذي يجب أخذه في الاعتبار؟ يحتاج التركيب إلى مصدر طاقة مستقر، بالإضافة إلى نظام تبريد فعال للحفاظ على توحيد درجة الحرارة. المصباح قوي، لكن غلاف الكوارتز يتطلب معاملة حذرة أثناء الصيانة. يجب جدولة عمليات الاستبدال خلال أوقات توقف الغرف النظيفة المخطط لها، وبذلك يمكن تجنب التوقفات غير المخطط لها. بهذه الطريقة، يمكن الحفاظ على العملية تحت السيطرة، دورة تلو الأخرى.